1. Керамическая подложка
Карбид кремния имеет широкую энергетическую щель, высокую термическую стабильность и хорошую теплопроводность, поэтому его можно использовать для производства подложки для фотоэлектрических элементов.
2. Керамический вафельный лоток
Керамика из оксида алюминия и карбида кремния обладает высокой термостойкостью и износостойкостью, ее можно использовать для изготовления лотка для переноски пластин для различных процессов, таких как RTA (быстрый термический отжиг), PVD (физический пар). Нанесение), ICP (индуктивно-связанная плазма), CMP (химическая механическая полировка), чтобы получить хороший эффект обработки и высокую эффективность;
3. Керамический вакуумный патрон
Керамика из оксида алюминия и карбида кремния имеет хорошую чистовую поверхность, с сильной поглощающей силой при подаче воздуха, а также керамический вакуумный патрон обладает высокой термостойкостью и широко используется для поглощения и переноса пластин в процессе производства. ;
4. Вафельная лодочка и кронштейн для лодочки
Карбид кремния и кварц обладают высокой термостойкостью и хорошей износостойкостью, а также низкой плотностью и легким весом, они подходят для производства лодочка для вафель и кронштейн лодочки для переноски пластин для диффузионной и окислительной обработки в диффузионной печи.
5. Трубка диффузионной печи
Кварцевая трубка обладает высокой термостойкостью и превосходной термической стабильностью, ее можно использовать в качестве трубы диффузионной печи, для процессов диффузии и окисления кремниевых пластин солнечных элементов.
