1. Керамическая подложка
Керамика из глинозема, нитрида кремния, нитрида алюминия и карбида кремния обладает хорошей теплопроводностью, высокой температурой и коррозионной стойкостью, их можно использовать для производства подложек, электронных компонентов и интегральных схем;
2. Керамический вафельный лоток
Керамика из оксида алюминия и карбида кремния обладает высокой термостойкостью и износостойкостью, ее можно использовать для изготовления лотка для переноски пластин для различных процессов, таких как RTA (быстрый термический отжиг), PVD (физический пар). Нанесение), ICP (индуктивно-связанная плазма), CMP (химическая механическая полировка), чтобы получить хороший эффект обработки и высокую эффективность;
3. Керамический вакуумный патрон
Керамика из оксида алюминия и карбида кремния имеет хорошую чистовую поверхность, с сильной поглощающей силой при подаче воздуха, а также керамический вакуумный патрон обладает высокой термостойкостью и широко используется для поглощения и переноса пластин в процессе производства. ;
4. Вафельная лодочка и кронштейн для лодочки
Карбид кремния и кварц обладают высокой термостойкостью и хорошей износостойкостью, а также низкой плотностью и небольшим весом, они подходят для изготовления лодочек для вафель и кронштейнов для лодочек, для переноски пластин для диффузионно-окислительная обработка в диффузионной печи.
5. Трубка диффузионной печи
Кварцевая трубка обладает высокой термостойкостью и превосходной термической стабильностью, ее можно использовать в качестве трубы диффузионной печи для процесса диффузии и окисления полупроводниковой пластины.