AlN Electrostatic Chuck
AlN Electrostatic Chuck
AlN Electrostatic Chuck

Керамический электростатический патрон из нитрида алюминия

Керамический электростатический патрон из нитрида алюминия (ESC, E-Chuck) представляет собой своего рода приспособление, в котором применяется принцип электростатической адсорбции для удержания и фиксации адсорбированного объекта, который подходит для вакуумной и плазменной среды, основная функция которого заключается в адсорбции тонких листов (таких как как пластины, солнечные элементы и т. д.) в процессе транспортировки и фиксации это позволяет адсорбированным объектам сохранять высокую плоскостность и предотвращать их деформацию.

  • Бренд:

    ATCERA
  • НОМЕР ДЕТАЛИ:

    AT-AIN-JD1001
  • Материалы

    AlN
  • Формы

    Mechanical Parts
  • Приложения

    Semiconductor , Photovoltaic Cell Industry
Aluminum nitride ceramic electrostatic chuck

Свойства нитрида алюминия Электростатический патрон

1. Электростатический патрон из нитрид-алюминиевой керамики имеет широкий диапазон рабочих температур, сильную адсорбционную силу и может регулироваться, подходит для различных технологических требований;

2. Поверхность керамического патрона из нитрида алюминия гладкая и высокоплоскостная, сила адсорбции равномерная, а адсорбированные предметы могут сохранять высокую плоскостность и улучшать качество обработки;

3. Керамический патрон из нитрида алюминия устойчив к высоким температурам, кислотной и щелочной коррозии, имеет хорошую применимость и длительный срок службы.

Aluminum nitride electrostatic chuck

Применение AlN Электростатический патрон

Керамический электростатический патрон из нитрида алюминия представляет собой своего рода инструмент для адсорбционного приспособления, используемый в производстве полупроводников и солнечных батарей для производственного процесса. Это один из основных компонентов оборудования для травления, оборудования PVD, оборудования PECVD, оборудования для ионной имплантации и т. д.

Индивидуальный дизайн для Электростатического патрона из нитрида алюминия и керамики

Мы стремимся поставлять электростатические патроны из нитрида алюминия высшего качества, точно соответствующие вашим спецификациям. Наша преданная своему делу команда обеспечивает тщательное соблюдение ваших инструкций и стремится превзойти ожидания клиентов. Кроме того, мы предлагаем возможность индивидуального размера в соответствии с вашими уникальными требованиями.

Предоставьте требования к чертежу и параметрам.

шероховатость поверхности: Ra0,2


Горячепрессованная прямоугольная пластина из нитрида алюминия


Артикул № Макс. Длина (мм) Макс. Ширинаï¼мм) Макс. Высота (мм)
АТ-АЙН-RY1001 ï¼500 ï¼500 ï¼350

Круглые пластины из нитрида алюминия горячего прессования
Артикул № Макс. Внешний диаметр (мм) Макс. Высота (мм)
АТ-АЙН-RY2001 ï¼500 ï¼500

Технические данные алюминиевых нитридных материалов

Тип AlN АЛН-170 АЛН-200
АЛН-230
Плотность (г/см3) 3.3 3.28 3.25
Прочность при изгибе (МПа) 450 400 350
Модуль Юнга (ГПа) 320 / /
Твердость (Hv) 1100 1100
1100
Вязкость разрушения (МПа*м1/2) 3 2.6 2.4
Максимальная рабочая температура (°) 1100 1100
1100
Теплопроводность (Вт/м*К) 180 200
230
Коэффициент теплового расширения (/â) 4*10-6 4*10-6
4*10-6
Диэлектрическая проницаемость (при 1 МГц) 9 8.7
8.5
Напряжение пробоя (кВ/мм) >15 >15
>15

*Эта диаграмма иллюстрирует стандартные характеристики материалов из нитрида алюминия, обычно используемых при производстве наших продуктов и деталей из AlN. Имейте в виду, что свойства изделий и деталей из нитрида алюминия, изготовленных по индивидуальному заказу, могут различаться в зависимости от конкретных процессов. Подробный параметр определяется типом и составом стабилизирующего агента.

Ценная информация

Aluminum Nitride Ceramic Electrostatic Chuck Packing

Керамический электростатический патрон из нитрида алюминия Упаковка

Электростатические патроны из нитрида алюминия тщательно упаковываются в соответствующие контейнеры во избежание возможных повреждений.

Преимущества настройки
Преимущества настройки

1. В соответствии со сценарием вашего применения проанализируйте потребности, выберите подходящий материал и план обработки.

2. Профессиональная команда, быстрая реакция, может предоставить решения и предложения в течение 24 часов после подтверждения спроса.

3. Гибкий механизм делового сотрудничества, поддержка хотя бы одной настройки количества.

4. Быстро предоставьте образцы и отчеты об испытаниях, чтобы подтвердить, что продукт соответствует вашим потребностям.

5. Предоставьте рекомендации по использованию и техническому обслуживанию продукта, чтобы снизить затраты на его использование.

Сопутствующий блог
Как процесс прессования влияет на характеристики тиглей из карбида кремния?
Тигель из карбида кремния широко используется в высокотемпературных отраслях, таких как керамика, металлургия и стекло, благодаря его превосходной термостойкости, коррозионной стойкости и высокой прочности. Прессование является распространенным методом формования при производстве тиглей. Технологический процесс и контроль параметров оказывают важное влияние на конечную производительность тигля. Це...
Что делает тигель из карбида кремния незаменимым в высокотемпературной промышленности?
С постоянным развитием современных высокотемпературных промышленных технологий требования к свойствам материалов возрастают. Тигель из карбида кремния с его уникальным составом материала и рядом превосходных свойств стал незаменимым материалом в высокотемпературной промышленности. Цель этой статьи — обсудить семь превосходных свойств тигля sic и его широкое применение в высокотемпературной промышл...
Оптимизация характеристик тигля из карбида кремния: материал и процесс
Благодаря постоянному прогрессу науки и технологии керамических материалов карбид кремния (SiC) как класс высокоэффективных неоксидных керамических материалов показал большой потенциал применения во многих областях промышленности благодаря своим уникальным физическим и химическим свойствам. Особенно в высокотемпературных печах тигель из карбида кремния, обладающий превосходной термостойкостью, кор...
Как эффективно подготовить и оптимизировать пластины с керамическим медным покрытием из нитрида алюминия?
В связи с быстрым развитием технологий силовой электроники, особенно с широким применением силовых полупроводниковых устройств, таких как высоковольтные, сильноточные и высокочастотные IGBT-модули, к керамическим подложкам с медным покрытием выдвигаются более строгие требования. Нитрид алюминия (AlN) как разновидность керамического материала с высокой теплопроводностью, низкой диэлектрической пост...
Какой материал керамической подложки оптимален для корпуса мощного модуля IGBT?
В современных системах силовой электроники модуль IGBT (биполярный транзистор с изолированным затвором) является основным компонентом преобразования и управления энергией, и его долговременная стабильность и надежность очень важны. Являясь ключевым компонентом структуры корпуса модуля IGBT, керамическая подложка не только несет на себе компоненты схемы, но также выполняет тяжелую задачу по теплопр...
Как сверхвысокое давление позволяет получать наноструктурированную прозрачную керамику?
Являясь разновидностью высокоэффективного материала, прозрачная керамика демонстрирует большой потенциал применения в оптике, электронике, аэрокосмической и других областях благодаря своему уникальному оптическому коэффициенту пропускания, высокой прочности и хорошей термической стабильности. Однако традиционные методы приготовления прозрачной керамики часто сталкиваются с такими проблемами, как а...
Как технология спекания горячим изостатическим прессованием способствует производству высококачественной прозрачной керамики?
Являясь разновидностью высокоэффективного материала, прозрачная керамика демонстрирует большой потенциал применения в оптике, электронике, аэрокосмической и других областях благодаря своему уникальному светопропусканию, высокой прочности и хорошей термостабильности. Однако процесс изготовления прозрачной керамики сложен, особенно процесс спекания, который напрямую связан с конечными свойствами мат...
Может ли спекание в горячем прессе стать будущим высокопроизводительного производства прозрачной керамики?
Являясь новым неорганическим неметаллическим материалом с высокими характеристиками и множеством функций, прозрачная керамика демонстрирует большой потенциал применения в оптике, электронике, аэрокосмической и других областях благодаря отличному светопропусканию, высокой прочности, высокой твердости и хорошим термическим и химическая стабильность. Среди множества методов изготовления прозрачной ке...
Как технология вакуумного спекания облегчает получение прозрачной керамики?
Являясь своего рода высокоэффективным материалом, прозрачная керамика обладает большим потенциалом применения в области изготовления оптических окон, лазерных сред и материалов, пропускающих высокотемпературные волны, благодаря своей уникальной оптической прозрачности и превосходным механическим свойствам. Среди множества методов изготовления прозрачной керамики технология вакуумного спекания стал...
Каковы преимущества холодного изостатического прессования при получении прозрачной керамики?
Являясь разновидностью высокоэффективного материала, прозрачная керамика демонстрирует большой потенциал применения в оптике, электронике, аэрокосмической и других областях благодаря превосходному светопропусканию, высокой твердости, устойчивости к высоким температурам и другим характеристикам. Однако процесс изготовления прозрачной керамики сложен, и технология формования является одним из ключев...

Сопутствующие товары

Часто задаваемые вопросы

Хотя наше основное внимание уделяется современным керамическим материалам, таким как оксид алюминия, цирконий, карбид кремния, нитрид кремния, нитрид алюминия и кварцевая керамика, мы постоянно изучаем новые материалы и технологии. Если у вас есть особые требования к материалам, свяжитесь с нами, и мы сделаем все возможное, чтобы удовлетворить ваши потребности или найти подходящих партнеров.

Абсолютно. Наша техническая команда обладает глубокими знаниями в области керамических материалов и обширным опытом в проектировании продукции. Мы будем рады предоставить вам рекомендации по выбору материалов и поддержку в разработке продукции, чтобы обеспечить оптимальную производительность вашей продукции.

У нас нет фиксированной минимальной суммы заказа. Мы всегда ориентируемся на удовлетворение потребностей наших клиентов и стремимся предоставлять качественные услуги и продукты независимо от размера заказа.

Помимо керамических изделий, мы также предоставляем ряд дополнительных услуг, включая, помимо прочего: услуги по индивидуальной обработке керамики с учетом Ваших потребностей с использованием заготовок или полуфабрикатов, изготовленных самостоятельно; Если вы заинтересованы в аутсорсинговых услугах по керамической упаковке и металлизации, свяжитесь с нами для дальнейшего обсуждения. Мы всегда стремимся предоставить вам универсальное решение для удовлетворения ваших различных потребностей.

Да, мы делаем. Независимо от того, где вы находитесь, мы можем обеспечить безопасную и своевременную доставку вашего заказа.

Отправить Ваш запрос

Загрузить
* File ONLY PDF/JPG./PNG. Available.
Submit Now

Свяжитесь с нами

Свяжитесь с нами
Просто заполните форму ниже как можно лучше. И не волнуйтесь о деталях.
Представлять на рассмотрение
Looking for Видео?
Связаться с нами #
19311583352

Часы работы

  • С понедельника по пятницу: с 9:00 до 12:00, с 14:00 до 17:30

Обратите внимание, что часы работы нашего офиса основаны на пекинском времени, которое на восемь часов опережает среднее время по Гринвичу (GMT). Мы ценим ваше понимание и сотрудничество в планировании ваших запросов и встреч. По любым срочным вопросам или вопросам, не связанным с обычными часами, обращайтесь к нам по электронной почте, и мы свяжемся с вами как можно скорее. Благодарим вас за ваш бизнес и будем рады помочь вам.

Дом

Продукция

whatsApp

контакт