Высокопроизводительные детали из карбида кремния, необходимые для передовых процессов производства полупроводников

Aug 12 , 2024

 

Производство полупроводников является краеугольным камнем развития современной науки и техники, поскольку отрасль постоянно стремится к созданию меньших, более быстрых и эффективных интегральных схем, точность и техническая сложность производственного процесса также растут, каждый шаг неотделим от высокой производительности. , высококачественное и высокоточное полупроводниковое оборудование. Карбид кремния (SiC) как конструкционный керамический материал с отличными характеристиками обладает характеристиками высокой плотности, высокой теплопроводности, высокой прочности на изгиб, высокого модуля упругости, сильной коррозионной стойкости, устойчивости к высоким температурам и т. д. Гибку производить непросто. деформация напряжения и термическая деформация, а также может адаптироваться к сильной коррозии и сверхвысокотемпературным реакционным средам эпитаксии пластин, травления и других производственных процессов. Поэтому он широко используется в процессах производства полупроводников, таких как шлифовка и полировка, эпитаксиальная/окислительная/диффузионная термообработка, литография, осаждение, травление и ионная имплантация.

 высокопроизводительные детали

Производство пластин неотделимо от окисления, диффузии, отжига, легирования и других процессов термообработки, а полупроводниковое оборудование, используемое в процессе термообработки, имеет печи окисления (которые делятся на горизонтальные печи и вертикальные печи), быстрой термообработки (RTP, RapidThermalProcessing ) оборудование. Из-за высокой рабочей температуры требования к производительности компонентов реакционной камеры также высоки. Детали из спеченного карбида кремния высокой чистоты обладают характеристиками высокой прочности, высокой твердости, высокого модуля упругости, высокой удельной жесткости, высокой теплопроводности, низкого коэффициента теплового расширения и т. Д. И являются незаменимыми деталями в реакционной камере термообработки интегральных схем. оборудование. В основном он включает в себя вертикальную лодку , постамент , внутренние трубы  и теплоизоляционные перегородки.

 

В настоящее время на большей части рынка спеченного карбида кремния высокой чистоты для полупроводникового оборудования доминируют иностранные компании, такие как Japan Kyokera Group и Quastai в США. Благодаря долгосрочному технологическому накоплению и инновациям они разработали не только полный ассортимент продукции, но и технологию обработки свойств материала, точности и сложной структуры, которая достигла ведущего уровня в отрасли. Компания может предоставить специальные компоненты для основного оборудования интегральных схем, такого как фотолитографическая машина, оборудование для плазменного травления, оборудование для осаждения пленки и оборудование для ионной имплантации.

Категории

Часто задаваемые вопросы

Хотя наше основное внимание уделяется современным керамическим материалам, таким как оксид алюминия, цирконий, карбид кремния, нитрид кремния, нитрид алюминия и кварцевая керамика, мы постоянно изучаем новые материалы и технологии. Если у вас есть особые требования к материалам, свяжитесь с нами, и мы сделаем все возможное, чтобы удовлетворить ваши потребности или найти подходящих партнеров.

Абсолютно. Наша техническая команда обладает глубокими знаниями в области керамических материалов и обширным опытом в проектировании продукции. Мы будем рады предоставить вам рекомендации по выбору материалов и поддержку в разработке продукции, чтобы обеспечить оптимальную производительность вашей продукции.

У нас нет фиксированной минимальной суммы заказа. Мы всегда ориентируемся на удовлетворение потребностей наших клиентов и стремимся предоставлять качественные услуги и продукты независимо от размера заказа.

Помимо керамических изделий, мы также предоставляем ряд дополнительных услуг, включая, помимо прочего: услуги по индивидуальной обработке керамики с учетом Ваших потребностей с использованием заготовок или полуфабрикатов, изготовленных самостоятельно; Если вы заинтересованы в аутсорсинговых услугах по керамической упаковке и металлизации, свяжитесь с нами для дальнейшего обсуждения. Мы всегда стремимся предоставить вам универсальное решение для удовлетворения ваших различных потребностей.

Да, мы делаем. Независимо от того, где вы находитесь, мы можем обеспечить безопасную и своевременную доставку вашего заказа.

Отправить Ваш запрос

Загрузить
* File ONLY PDF/JPG./PNG. Available.
Submit Now

Свяжитесь с нами

Свяжитесь с нами
Просто заполните форму ниже как можно лучше. И не волнуйтесь о деталях.
Представлять на рассмотрение
Looking for Видео?
Связаться с нами #
19311583352

Часы работы

  • С понедельника по пятницу: с 9:00 до 12:00, с 14:00 до 17:30

Обратите внимание, что часы работы нашего офиса основаны на пекинском времени, которое на восемь часов опережает среднее время по Гринвичу (GMT). Мы ценим ваше понимание и сотрудничество в планировании ваших запросов и встреч. По любым срочным вопросам или вопросам, не связанным с обычными часами, обращайтесь к нам по электронной почте, и мы свяжемся с вами как можно скорее. Благодарим вас за ваш бизнес и будем рады помочь вам.

Дом

Продукция

whatsApp

контакт