С быстрым развитием современных электронных технологий проектирование СВЧ-ВЧ-компонентов и высокочастотных схем становится все более сложным, а требования к производительности компонентов становятся все выше и выше. Чтобы удовлетворить эти потребности, технология тонких пленок, как передовая микроэлектронная технология, играет все более важную роль в разработке микроволновых компонентов и высокочастотных схем. В этой статье описано несколько тонкопленочных компонентов на основе конструкции подложки из оксида алюминия , включая тонкопленочные аттенюаторы, тонкопленочные соединители, тонкопленочные мосты, тонкопленочные резисторы и тонкопленочные конденсаторы. Эти компоненты играют незаменимую роль в СВЧ-ВЧ компонентах и высокочастотных схемах благодаря своим уникальным свойствам и широким областям применения.
1 Пленочный аттенюатор
Конструкция тонкопленочного аттенюатора с использованием керамической подложки из оксида алюминия часто используется для сильного затухания сигнала в СВЧ-частотном модуле или для многоступенчатой регулировки значения затухания в программируемой схеме ослабления. Он также основан на разумном расчете квадратного сопротивления слоя пленки нитрида тантала и разработке процесса изготовления пленки керамической цепи из оксида алюминия. Тонкопленочные аттенюаторы могут обеспечить высокую равномерность значения затухания в сверхширокой полосе частот со стабильными характеристиками.
2 Тонкопленочный соединитель
Пленочный соединитель с керамической подложкой из оксида алюминия, часто используемый в системах обнаружения мощности или разделения сигналов микроволновых компонентов, может быть спроектирован в любой соединитель со слабой степенью связи и может использовать интегрированную изолирующую нагрузку конструкции из нитрида тантала, порт может быть спроектирован в форма пакета поверхностной пасты, непосредственно привариваемой в контуре работы. Его можно спроектировать в многоступенчатую форму, когда его необходимо применить к широкой полосе.
3 Пленочный мост
Использование пленочного моста с керамической подложкой из глинозема, также называемого мостом 3 дБ, часто используемым для разделения сигнала и придания ему разности фаз 90 ° или 180 °, мост Ланге - это форма его применения, посредством соединения золотой проволоки с добиться сигнальной связи между линиями.
4 Сопротивление тонкой пленки
Использование пленочного резистора с керамической подложкой из глинозема, часто используемого для обеспечения высокой точности, низкого шума и высокой стабильности схемы, часто интегрированного в проектирование и обработку схемы микрополосковой пленки, также может быть спроектировано отдельно для различных сопротивлений. типы пленочных резисторов, используемых или встроенных в сеть сопротивлений, посредством соединения золотой проволоки для выбора требуемого значения сопротивления.
5 Емкость тонкой пленки
Тонкопленочный конденсатор имеет керамическую подложку из оксида алюминия, которая часто используется при высокочастотной фильтрации. Тонкопленочный конденсатор произвольной емкости может быть предназначен для источника питания. Производительность более стабильна, чем у обычного чип-конденсатора, и подходит для высокочастотных цепей.
Таким образом, тонкопленочные компоненты, разработанные на керамических подложках из оксида алюминия, такие как тонкопленочные аттенюаторы, тонкопленочные соединители, тонкопленочные мосты, тонкопленочные резисторы и тонкопленочные конденсаторы, показали отличные характеристики и широкие перспективы применения в СВЧ-частотных компонентах и высокочастотных компонентах. частотные цепи. Эти компоненты не только обладают такими преимуществами, как высокая точность, низкий уровень шума и высокая стабильность, но также могут достигать высоких показателей производительности в сверхшироком диапазоне, что обеспечивает мощную поддержку развитию современных электронных технологий. С развитием науки и техники и повышением спроса технология тонких пленок будет продолжать играть более важную роль в разработке СВЧ-частотных компонентов и высокочастотных схем, а также способствовать постоянному развитию и инновациям электронных технологий.
